羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的。它于1944年先出現(xiàn)于德國，是為適應(yīng)在10～1000Pa壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機(jī)械增壓泵使用。

根據(jù)工作壓力范圍的不同，分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(機(jī)械增壓泵)和高真空羅茨泵。國內(nèi)用量較多的為中真空羅茨泵(以下簡稱羅茨泵)。羅茨泵與其它油封式機(jī)械泵相比有以下特點：

在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;

泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;

泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;

轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

羅茨泵近幾年在較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)了廣泛的應(yīng)用。